Обработка на станках с ЧПУ для полупроводниковой промышленности

Точность, чистота и прослеживаемость компонентов для полупроводниковой промышленности. Мы обеспечиваем жесткие допуски и процессы, соответствующие требованиям чистых помещений, для критически важных деталей, используемых в оборудовании для обработки кремниевых пластин и вакуумных системах.

Наши преимущества

Почему RuoChen Precision для полупроводниковой отрасли

Мы сочетаем точность на микронном уровне с экологически чистым производством и полной прослеживаемостью.

  • Контроль качества

    Соответствующие стандартам ISO методы контроля качества, статистический контроль процессов и отчеты по первому образцу гарантируют допуски на микронном уровне и повторяемость результатов.

  • Высокоточное оборудование

    Пятиосевое фрезерование, микротокарная обработка и внутрипроцессное зондирование позволяют достичь повторяемости критически важных элементов менее 10 мкм.

  • Инженерная поддержка

    Анализ технологичности производства (DFM), итерации прототипов и изготовление нестандартных приспособлений ускоряют интеграцию с производственными и OEM-системами.

  • Отслеживаемость и доставка

    Отслеживаемость на уровне партий, сертификаты на материалы и контролируемая транспортировка соответствуют требованиям ESD и требованиям чистых помещений.

Области применения

Области применения полупроводников

    Типичные компоненты, которые мы обрабатываем для производственных предприятий, производителей оборудования и метрологических систем.


    • манипуляторы для работы с пластинами и захваты (end-effectors)
    • Вакуумные фланцы, проходные элементы и порты
    • Вакуумные и электростатические держатели пластин
    • Блоки, направляющие и крепления для энкодеров подвижной платформы
    • Оптические крепления, центрирующие штифты и держатели линз
    • Газопроводные коллекторы, фитинги и клапаны
    • Корпуса плат щупов, головки щупов и разъемы.
    • Изготовление прецизионных приспособлений и метрологических адаптеров на заказ.
Получить ценовое предложение
приложение

Типичные компоненты для полупроводникового оборудования

  • Вакуумные фланцы и проходные элементы

    Фланцы CF/ISO, изготовленные на заказ электрические и гидравлические проходные элементы, соответствующие требованиям по вакууму и скорости утечки.

    нержавеющая сталь 304L/316L, инконель, керамико-металлические узлы.
  • Компоненты для обработки пластин

    Концевые манипуляторы, захваты и детали роботизированных интерфейсов с высокой концентричностью и контролируемой чистотой поверхности.

    Алюминий 7075-T6, 6061, PEEK, нержавеющая сталь
  • Компоненты сцены и движения

    Прецизионные направляющие блоки, корпуса шпинделей и крепления энкодеров с высокой точностью плоскостности и формы.

    Алюминиевые сплавы, закаленная нержавеющая сталь, инструментальные стали, инвар
процесс

Наш процесс обслуживания

  • План
  • Настройка
  • Производство
  • Финиш
  • Доставка
  • План

    Обзор сверхточной диагностики и чистоты

    Мы анализируем чертежи полупроводниковых изделий, уделяя особое внимание плоскостности, шероховатости поверхности (Ra) и требованиям к чистоте компонентов, работающих в вакууме и при обработке пластин. Материалы и допуски проверяются в соответствии с условиями производства.

    • Рассмотрите требования к плоскостности, параллельности и параметру Ra.
    • Убедитесь, что материалы пригодны для использования в вакуумной системе и чистых помещениях.
  • Настройка

    Планирование станков с ЧПУ и метрологических измерений с акцентом на чистоту и порядок

    Программы и приспособления для станков с ЧПУ разрабатываются таким образом, чтобы минимизировать следы от зажима и загрязнения. Мы также разрабатываем планы метрологии для обеспечения жестких допусков по форме и проверки качества поверхности.

    • Приспособления разрабатываются с учетом минимального контакта с поверхностью и удобства очистки. Также формируются планы метрологических измерений для контроля плоскостности, параллельности и параметра шероховатости Ra.
    • Планы метрологических измерений для обеспечения плоскостности, параллельности и Ra
  • Производство

    Обработка компонентов на микронном уровне

    Детали для полупроводниковых устройств обрабатываются на высокоточном оборудовании с использованием внутрипроцессного зондирования и измерений. Мы контролируем допуски на микронном уровне и качество поверхности, необходимые для вакуумных и подвижных платформ.

    • Проведение внутрипроцессного зондирования критически важных поверхностей
    • Стабильная обработка вакуумных фланцев и компонентов для работы с пластинами.
  • Финиш

    Полировка и обработка, совместимая с чистыми помещениями.

    Компоненты подвергаются электрополировке, пассивации или твердому анодированию в соответствии с требованиями. Поверхности обрабатываются для снижения газовыделения и облегчения очистки, после чего проходят строгий контроль качества.

    • Контролируемая обработка поверхности для вакуумных и газовых систем.
    • Контроль шероховатости поверхности и визуальный осмотр дефектов при ярком освещении.
  • Доставка

    Чистая упаковка и полная отслеживаемость для производственных предприятий

    Готовые компоненты очищаются, упаковываются в двойные пакеты или запечатываются по мере необходимости и маркируются с указанием полной информации для отслеживания происхождения. Упаковка и отгрузка соответствуют требованиям вашей чистой комнаты и требованиям по защите от электростатического разряда (ESD).

    • Упаковка и маркировка, соответствующие требованиям чистых помещений.
    • Документация, содержащая информацию об истории материалов и технологического процесса, прилагается.
Услуги

Наши производственные возможности

От проектирования и прототипирования до серийного производства — RuoChen Precision воплощает ваши идеи в реальность с помощью высококлассных индивидуальных решений.

Материал

Материалы и обработка поверхности

Мы обрабатываем металлы, конструкционные пластмассы и керамику, выбирая материалы с низким уровнем газовыделения, высокой термической стабильностью и коррозионной стойкостью. Поверхностные покрытия подбираются с учетом требований к проводимости, чистоте и контролируемой шероховатости (Ra).

  • Выбор материалов для производственных сред: нержавеющая сталь, алюминиевые сплавы, инвар, PEEK и техническая керамика с низким уровнем газовыделения.
  • Варианты финишной обработки включают электрополировку, пассивацию, твердое анодирование, никелирование, серебрение и прецизионную полировку для достижения требуемой чистоты и параметров шероховатости Ra.
Обсудите ваш проект

    Запросить расчет стоимости